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MFC專用電源PS該系列產(chǎn)品是質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)的±15V專用電源，可最多提供多達(dá)9臺MFC/MFM同時使用。該電源支持的電壓范圍為AC85~240V,也可以通過轉(zhuǎn)接質(zhì)量流量器的設(shè)定信號、輸出信號及閥門啟閉信號進(jìn)行外部控制。用于3個MFC的PS-203M電源流量設(shè)定信號和流量輸出信號通過PS系列從PLC等上級設(shè)備通過PS系列電源，將流量設(shè)定信號、流量輸出信號輸入到質(zhì)量流量控制器，PS系列提供±15V電源。數(shù)字通訊對于使用PC接口（如LabV...

MFC用電源設(shè)定表示器RP-310該產(chǎn)品是一款適用于質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的一體化產(chǎn)品。功能包括電源輸入、流量顯示及設(shè)定，是進(jìn)行流量控制所需的獨(dú)立設(shè)備。您可以根據(jù)F.S.更改顯示值。除了顯示流量值（瞬時）外，還可以顯示累積值。RP-310一臺質(zhì)量流量控制器和一臺RP-310通過專用電纜連接，質(zhì)量流量控制器由RP-310模擬信號控制。通過PLC(可編程邏輯控制器)等上級設(shè)備，借由RP-310，輸入質(zhì)量流量控制器的設(shè)定信號和輸出信號，并將其顯示在RP-310上。規(guī)格表電源AC...

電磁控制閥小型汽化器VU-430搭載液體噴嘴和載氣噴嘴的雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)高效率汽化器。液體噴嘴和載氣噴嘴（0.05~4SLM）的雙流體噴嘴在汽化室前匯合，以精細(xì)地噴灑液體。被微小霧化的液體可以通過輻射熱被高效汽化。汽化室頂部的液體控制閥通過接收液體質(zhì)量流量計(jì)(LM-3000L)的流量信號來調(diào)節(jié)閥門開度。通過控制流量，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。高效率汽化器VU-430特點(diǎn)高效率汽化維護(hù)成本低汽化室附近搭載液體流量控制閥使用范例低蒸氣壓材料的汽化該汽化器搭載最高溫度為200℃的耐熱結(jié)...

光刻膠溶液和SOG中的顆?？梢詼y量0.15μm以上的顆?？蛇B接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源二極管激光器（波長830nm，額定功率200mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.15μm~0.5μm范圍內(nèi)的10個級別運(yùn)輸：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度1,200單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在5%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（由KE-40B1供電）大小約160毫米（水平）×300毫米（寬）×251毫米（深...

光刻膠溶液和SOG中的顆?？梢栽?.1μm范圍內(nèi)測量可連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率500mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.1μm~0.5μm范圍內(nèi)的10個級別（可選0.07μm，用于純水等透明液體）運(yùn)輸：0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高、0.35個≥μm和≥0.5μm的水平額定流量5毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度9,600單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（...

化學(xué)溶液中0.05μm顆粒的測量實(shí)現(xiàn)10%的計(jì)數(shù)效率使用藍(lán)寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率500mW）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至10步，范圍為0.05μm~0.2μm運(yùn)輸：0.05μm或更高、0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度30,000個/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（由KE-4...

化學(xué)溶液中0.03μm顆粒的測量最小可測量粒徑：0.03μm使用藍(lán)寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率800mW）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至10個級別，范圍從0.03μm~0.13μm發(fā)貨：0.03μm或更高、0.06μm或更高、0.1μm或更高、0.1μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度40,000單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC1...

化學(xué)溶液中0.02μm顆粒的測量最小可測量粒徑：0.02μm使用藍(lán)寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率1.5W）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至7個水平，范圍為0.02μm~0.08μm運(yùn)輸：0.02μm或更高、0.03μm或更高、0.04μm或更高、0.06μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度50,000個/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力交流10...

汽化器(直接汽化法)用液體質(zhì)量流量計(jì)測量質(zhì)量及流量，采用后置汽化器將對全部液體進(jìn)行汽化的方式。直接汽化法的基本原理汽化器直接汽化法流程圖直接汽化法使用液體質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行質(zhì)量測量，并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質(zhì)量不會改變，因此，如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器，液體主要的質(zhì)量流量=汽化器出口處的氣體質(zhì)量流量。由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩(wěn)定性，可進(jìn)行高濃度汽化，這是鼓泡法難...

溫度控制單元TCU該系列產(chǎn)品是用于汽化器(VU系列)、熱交換器(HX系列)、供應(yīng)槽和管路加熱等的溫度控制單元。原理上該產(chǎn)品使用電子溫度控制器和SSR(固態(tài)繼電器)來進(jìn)行溫度控制。當(dāng)檢測到溫度異常升高時，會自動停止向各種加熱設(shè)備供電，以防止溫度過高。2系統(tǒng)（獨(dú)立）溫度調(diào)節(jié)單元TCU-3-2連接示例TCU通過專用電纜連接到汽化器(VU系列)或熱交換器(HX系列)等LINTEC的加熱設(shè)備上。溫度由TCU的電子溫度控制器控制。加熱設(shè)備的電源也由該TCU提供。規(guī)格表TCU-3-1TCU...